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据上海电气回复投资者说“上海微电子成功研制出22纳米级别的光刻机，成功打破了西方
张江高科股友
2021-11-05 14:06:00
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【问】据
上海电气
回复投资者说“上海微电子成功研制出22纳米级别的光刻机，成功打破了西方的垄断，对我国芯片科技发展有着重要意义”，请问是否属实？22纳米光刻机何时可投入使用？对
张江高科
投资上海微电子是否有积极意义？ 【答】张江高科：尊敬的投资者,上海微电子装备公司承担着国家02专项，即:《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目，公司未经授权发布其相关信息。相关研发进度以上海微电子装备公司发布为准，感谢您的关注！¶¶2021-11-10 15:40:47 §
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