网传：晶瑞ASML光刻机量产5nm芯片。据最新消息，ASML孔径数值为0.55的
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【问】网传：晶瑞ASML光刻机量产5nm芯片。据最新消息，ASML孔径数值为0.55的EXE:5000光刻机的曝光系统已经设计完成，于2022年可正式发货。EXE:5000光刻机可用于量产2nm制程芯片，甚至是1nm及以下。是真的吗？ 【答】晶瑞股份：尊敬的投资者您好！公司购买光刻胶系用于研发测试公司产品光刻胶所用，本身不生产芯片，也不生产制造光刻机。感谢您对公司的关注与支持！¶¶2021-08-01 18:48:00 §
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