【问】据资料显示，气浮轴承为光刻机的核心部件，请问公司正在研发的相关轴承将来是否可以运用到国产光刻机中？ 【答】崇德科技：尊敬的投资者，您好！公司前期已经进行研发立项，将高速电机关键技术和高精气浮轴承技术集成，在“静压气浮轴承气浮高精高速电机”研发进行了重点投入，已经与欧美相关领先企业进行合作。正在研发1.5kw-2.4kw用于晶圆切割的划片机主轴系统，4.2kw-11kw 硅片及碳化硅高精气浮主轴系统和无油高速气浮电机，并将逐步产业化。同时公司也与国内的划片机和晶圆减薄机的重点企业建立了良好的合作关系。谢谢。¶¶2024-07-19 15:56:56 §